Microsystèmes

Microsystèmes à l’Institut de Microtechnique

La création de microsystèmes est toujours une source de fascination chez nos chercheurs, que ce soit les nanomécanismes ou les plateforms microfluidiques.

La nanotechnologie offre une variété de possibilities, mais également beaucoup de défis. En utilisant telles techniques que la nanolithographie et l’auto-assemblage microfludique, des équipes de l’Institut de Microtechnique sont toujours en train de développer des dispositifs nano- et microélectroniques innovant et révolutionnaires.

Thèmes clé de recherche

  • MEMS/NEMS
  • micro-nanoelectronique
  • capteurs et actionneurs
  • capteurs intelligents
  • traitement de signaux
  • récolte d’énergie
  • materiaux doux
  • intégration de microsystèmes
  • BioMEMS
  • biocapteurs
  • bioélectronique
  • icrofluidique
  • integration hétérogène
  • microsystèmes optiques
  • AFM à haute vitesse

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